|
imec觀點:微影圖形化技術的創新與挑戰 (2023.05.15) 此篇訪談中,比利時微電子研究中心(imec)先進圖形化製程與材料研究計畫的高級研發SVP Steven Scheer以近期及長期發展的觀點,聚焦圖形化技術所面臨的研發挑戰與創新。 |
|
imec開發虛擬晶圓廠 鞏固微影蝕刻製程的減碳策略 (2023.03.19) 由國際光學工程學會(SPIE)舉辦的2023年先進微影成形技術會議(2023 Advanced Lithography and Patterning Conference)上,比利時微電子研究中心(imec)展示了一套先進IC圖形化製程的環境影響量化評估方案 |
|
默克和美光合作永續氣體解決方案 降低製程中溫室氣體排放 (2022.08.08) 默克宣布與美光科技聯手開發用於半導體製程,能降低全球暖化潛勢(global warming potential; GWP)的氣體解決方案。經過一年的持續合作,美光科技目前正在測試默克研發部門提供的低GWP替代性蝕刻氣體,以驗證其製程性能,從而取代傳統的高GWP材料 |
|
意法半導體收購Norstel AB 強化碳化矽產業供應鏈 (2021.09.03) 碳化矽(SiC)功率半導體市場需求激增,吸引產業鏈相關企業的關注,國際間碳化矽晶圓的開發,驅使SiC爭奪戰正一觸即發。 |
|
65奈米研發聯盟成立 加速台灣IC製程研發 (2002.12.03) 為加速我國65奈米IC製程的研發時程,並推動下世代半導體產業材料的技術整合,由工研院化工所號召,台積電、日產化學工業株式會社(Nissan Chemical Industries)、長興化工、永光化學、同步輻射中心為創始會員,共同籌組的「65奈米研發聯盟」 |