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imec观点:微影图形化技术的创新与挑战 (2023.05.15) 此篇访谈中,比利时微电子研究中心(imec)先进图形化制程与材料研究计画的高级研发SVP Steven Scheer以近期及长期发展的观点,聚焦图形化技术所面临的研发挑战与创新。 |
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imec开发虚拟晶圆厂 巩固微影蚀刻制程的减碳策略 (2023.03.19) 由国际光学工程学会(SPIE)举办的2023年先进微影成形技术会议(2023 Advanced Lithography and Patterning Conference)上,比利时微电子研究中心(imec)展示了一套先进IC图形化制程的环境影响量化评估方案 |
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默克和美光合作永续气体解决方案 降低制程中温室气体排放 (2022.08.08) 默克宣布与美光科技联手开发用於半导体制程,能降低全球暖化潜势(global warming potential; GWP)的气体解决方案。经过一年的持续合作,美光科技目前正在测试默克研发部门提供的低GWP替代性蚀刻气体,以验证其制程性能,从而取代传统的高GWP材料 |
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意法半导体收购Norstel AB 强化碳化矽产业供应链 (2021.09.03) 碳化矽(SiC)功率半导体市场需求激增,吸引产业链相关企业的关注,国际间碳化矽晶圆的开发,驱使SiC争夺战正一触即发。 |
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65奈米研发联盟成立加速台湾IC制程研发 (2002.12.03) 为加速我国65奈米IC制程的研发时程,并推动下世代半导体产业材料的技术整合,由工研院化工所号召,台积电、日产化学工业株式会社(Nissan Chemical Industries)、长兴化工、永光化学、同步辐射中心为创始会员,共同筹组的「65奈米研发联盟」 |