CTIMES - 搜尋：蝕刻氣體

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	imec觀點：微影圖形化技術的創新與挑戰 (2023.05.15) 此篇訪談中，比利時微電子研究中心（imec）先進圖形化製程與材料研究計畫的高級研發SVP Steven Scheer以近期及長期發展的觀點，聚焦圖形化技術所面臨的研發挑戰與創新。
	imec開發虛擬晶圓廠鞏固微影蝕刻製程的減碳策略 (2023.03.19) 由國際光學工程學會（SPIE）舉辦的2023年先進微影成形技術會議（2023 Advanced Lithography and Patterning Conference）上，比利時微電子研究中心（imec）展示了一套先進IC圖形化製程的環境影響量化評估方案
	默克和美光合作永續氣體解決方案降低製程中溫室氣體排放 (2022.08.08) 默克宣布與美光科技聯手開發用於半導體製程，能降低全球暖化潛勢(global warming potential; GWP）的氣體解決方案。經過一年的持續合作，美光科技目前正在測試默克研發部門提供的低GWP替代性蝕刻氣體，以驗證其製程性能，從而取代傳統的高GWP材料
	意法半導體收購Norstel AB 強化碳化矽產業供應鏈 (2021.09.03) 碳化矽（SiC）功率半導體市場需求激增，吸引產業鏈相關企業的關注，國際間碳化矽晶圓的開發，驅使SiC爭奪戰正一觸即發。
	65奈米研發聯盟成立　加速台灣IC製程研發 (2002.12.03) 為加速我國65奈米IC製程的研發時程，並推動下世代半導體產業材料的技術整合，由工研院化工所號召，台積電、日產化學工業株式會社（Nissan Chemical Industries）、長興化工、永光化學、同步輻射中心為創始會員，共同籌組的「65奈米研發聯盟」