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Asyst提供晶圓廠新的自動化物料處理方式 (2008.07.23) 一個具有競爭力的晶圓廠必須一方面做到高儀器利用率,一方面又使處於製程中的晶圓量維持在最低,同時還必須讓晶圓生產周期壓縮到最短。這兩項要求可能互相矛盾。而解決的關鍵是不要讓簡稱為「AMHS」的「自動物質處理系統」成為晶圓處理過程中的瓶頸,限制了晶圓廠的表現 |
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12吋晶圓廠的自動化趨勢 (2003.12.05) 全自動化晶圓廠的概念,隨著高生產力的300mm製造技術提升逐漸成型,由研發人員及設備製造商的緊密合作,為業界建立一套標準。本文分析全自動製造廠的規劃與組成因素,另提出製造廠自動化概念背後所會面臨的問題並作逐一的剖析與解釋 |
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