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Nikon再告ASML 專利權戰爭不斷 (2002.10.15)
專利權爭端不斷,根據日本日經社報導指出,日本微影設備供應商Nikon再度控告荷蘭微影設備供應商ASML,控告ASML侵犯Nikon於日本、南韓的多項專利權,包括ASML的步進照像機(Stepper)及掃描機(Scanner),因此要求ASML停止於日本、南韓的侵權行為,並且必需賠償Nikon損失


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