課程介紹

台灣LED產業結構中在生產製造部份已相當的完整，但關鍵材料與生產設備仍多仰賴進口，LED結構通常以MOCVD設備進行量產，但缺乏設備廠商支援，使我國LED產業難以維持競爭優勢。MOCVD磊晶需具備多方面知識備景，同時MOCVD參數多樣將影響 Run機成果，本課程介紹MOCVD磊晶設備原理，同時介紹目前業界對 LED於磊晶可能面臨相關問題，及磊晶設備技術發展趨勢作一探討。對於目前三大MOCVD設備廠家(Aixtron、VEECO、Nippon Sanso) 之反應室設計、氣體引入設計、基板加熱與轉動設計、系統及基板傳送設計、氣體流量控制設計、檢測設備等分類進行設備專利地圖分析，另外也對於各種不同MOCVD設備作說明

講師介紹

王副組長---工研院機械所固態光源機械技術部經理兼組研發經理

黃博士---工研院固態光源機械技術部工程師