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90/130奈米發展的瓶頸與挑戰 (2002.10.05)
當半導體產業推進到100奈米以下時，物理極限的困難即接踵而至，使得業者紛紛提出的90奈米先進製程量產化，讓許多專家仍抱著觀望態度﹔加上130奈米製程中仍有許多未解的技術瓶頸，同樣也會成為90奈米的困境﹔這種種現象，即是本文想探討的問題 |
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銅/鋁製程並行 銅製程瓶頸未解 (2002.09.24)
隨著銅製程發展，根據SiliconStretiges引用The Information Network報告指出，今年半導體銅製程設備市場，將比去年成長27％，明年成長更是高達84％；2001年銅製程設備銷售額佔全部前端晶圓生產設備比重達10％，預計2002年將成長達14％ |
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