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乾式光阻技术可有效解决EUV微影制程中的解析度与良率挑战 (2025.01.17)
随着半导体技术迈向 2nm 及以下的节点,制程技术的每一步都成为推动摩尔定律延续的重要基石。在这其中,乾式光阻(dry resist)技术的出现,为解决极紫外光(EUV)微影制程中的解析度与良率挑战提供了突破性解决方案
半镶嵌金属化:後段制程的转折点? (2025.01.03)
五年多前,比利时微电子研究中心(imec)提出了半镶嵌(semi-damascene)这个全新的模组方法,以应对先进技术节点铜双镶嵌制程所面临的RC延迟增加问题。
英特尔打造新一代玻璃基板 提升资料中心和AI所需设计要求 (2023.09.19)
英特尔推出业界首款用於下一代先进封装的玻璃基板,计划在2026至2030年量产。这一突破性成就将使单一封装纳入更多的电晶体,并继续推进摩尔定律,促成以数据为中心的应用
imec观点:微影图形化技术的创新与挑战 (2023.05.15)
此篇访谈中,比利时微电子研究中心(imec)先进图形化制程与材料研究计画的高级研发SVP Steven Scheer以近期及长期发展的观点,聚焦图形化技术所面临的研发挑战与创新。
应材推出电子束量测系统 提升High-NA EUV制程的控制与良率 (2023.03.08)
由於包含极紫外光(EUV)和新兴高数值孔径(High-NA)的光阻越来越薄,量测半导体元件特徵的关键尺寸变得愈来愈具挑战性。应用材料公司最新推出新的电子束(eBeam)量测系统,则强调专门用来精确量测由EUV和High-NA EUV微影技术所定义半导体元件的关键尺寸(critical dimension)
杜邦推乾膜式感光型介电质材料 增强5G与AI先进半导体封装技术 (2022.12.13)
随着网路传输通讯、物联网、穿戴式产品应用、家电整合以及车用通讯等新产品设计与应用趋势发展,目前多晶片封装产品之高密度多功能异质整合、高传输效率等相关需求,以及因应产品内部元件体积尺寸越趋近於更轻薄化的需求,皆促使更高构装密度,期能有效降低成本及达到高效生产等效益
英特尔:晶片制造需满足世界对於运算的需求 (2022.08.23)
英特尔在Hot Chips 34当中,强调实现2.5D和3D晶片块(tile)设计所需的最新架构和封装创新,将引领晶片制造的新时代,并在未来数年内推动摩尔定律的发展。英特尔执行长Pat Gelsinger(基辛格)向全球分享持续不断追求更强大运算能力的历程
imec最新High-NA EUV技术进展 加速微影生态系统开发 (2022.04.26)
比利时微电子研究中心(imec)於本周国际光学工程学会(SPIE)举行的先进微影成形技术会议(2022 SPIE Advanced Lithography and Patterning Conference)上展示其High-NA微影技术的重大进展,包含显影与蚀刻制程开发、新兴光阻剂与涂底材料测试,以及量测与光罩技术优化
TrendForce:乌俄冲突影响半导体气体供应 晶片成本恐上涨 (2022.02.15)
TrendForce指出,乌俄冲突虽可能冲击该乌克兰地区惰性气体供应,但在半导体厂、气体供应厂皆备有库存,且仍有其它地区供应的情况下,短期内不至於造成产线中断影响产出,不过气体供应量减少仍将可能造成价格上涨,晶片生产成本可能因此上涨
EV GROUP为3D异质整合导入高速与高精度检测 (2021.11.17)
随着传统的2D矽晶圆微缩已达到成本上限,半导体产业正转向异质整合,将具有不同特征尺寸与材质的多个元件或晶粒,制造、组装及封装到单一晶片或封装里,借以提升新世代设备的效能
[SEMICON Taiwan]EVG LITHOSCALE无光罩曝光机可实现量产化目标 (2020.09.23)
LITHOSCALE?合EVG的MLE(无光罩曝光)技术,将数位化曝光的优势带入了广泛的光刻应用和市场之中 晶圆接合暨微影技术设备商EV Group(EVG)在9月23日至25日於台北南港展览馆1馆举行的SEMICON Taiwan发表全新LITHOSCALE无光罩曝光系统,这是第一个采用EVG革命性的MLE(无光罩曝光)技术的产品
EVG成立异质整合技术中心 加速新产品开发 (2020.03.03)
晶圆接合暨微影技术设备厂商EV Group(EVG),今天宣布异质整合技术中心已建立完成,旨在协助客户透过EVG的制程解决方案与专业技术,以及在系统整合与封装技术的精进下,打造全新且更强劲的产品与应用,包含高效能运算与资料中心、物联网(IoT)、自驾车、医疗与穿戴装置、光子及先进感测器所需的解决方案与应用
EV GROUP与INKRON合作开发高折射率材料和奈米压印微影制程技术 (2020.02.17)
微机电系统(MEMS)、奈米科技与半导体市场的晶圆接合暨微影技术设备之领导厂商EV Group(EVG)今(17)天宣布和致力於高低折射率涂层材料的制造商Inkron的合作夥伴关系
绿色建筑发挥效益 台湾杜邦获颁国家企业环保奖 (2019.11.25)
杜邦电子与成像事业部宣布其竹南厂荣获行政院环境保护署颁发国家企业环保奖。 环保署自 1992 起持续表扬企业对於环境保护与企业社会责任所展现的努力,今年是第一年设立国家企业环保奖
Brewer Science 将在 2019 Semicon Taiwan分享先进封装经验与技术产品 (2019.09.16)
Brewer Science今天宣布,该公司将连续第 14 年叁加台湾国际半导体展,这是台湾最大的年度微电子盛事,将在 2019 年 9 月 18~20 日於台北世贸中心南港展览馆举行。除了将在 N0262 摊位展示其产品之外,Brewer Science 还将出席并赞助 2019 年 SiP 全球高峰会,这是与该展连同举行的先进封装专题活动
EV GROUP全新无光罩曝光技术掀起微影制程革命 (2019.09.10)
微机电系统(MEMS)、奈米科技与半导体市场的晶圆接合暨微影技术设备之领导厂商EV Group(EVG)今日发表具革命性的次世代微影MLE(Maskless Exposure)技术,能满足先进封装、微机电系统、生物医学及高密度印刷电路板(PCB)等应用在未来後段微影制程的各种需求
贸泽电子7月发表超过287项新产品 (2019.08.16)
新产品引进(NPI代理商贸泽电子Mouser Electronics首要任务是库存来自750多家制造商合作夥伴的各种最新产品与技术,为客户提供优势,协助加快产品上市速度。 贸泽在上个月发表超过287项新产品,且这些产品均可在订单确认後当天出货
KLA 发布全新缺陷检测与检视产品组合 (2019.07.09)
KLA公司今日发布392x和295x光学缺陷检测系统和eDR7380电子束缺陷检视系统。这些全新的检测系统是我们公司的旗舰图案晶圆平台的拓展,其检测速度和灵敏度均获提升,并代表了光学检测的新水准
Entegris EUV 1010光罩盒卓越的缺陷率性能并获得ASML认证 (2018.08.22)
Entegris, Inc.日前发布了下一代EUV 1010光罩盒,用於以极紫外线(EUV)微影技术进行大量IC制造。Entegris的EUV 1010是透过与全球最大晶片生产设备制造商之一的ASML密切合作而开发的,已率先成为全世界第一个获得ASML的认证,可用於NXE:3400B及未来更先进机台上的光罩盒产品
KLA-Tencor缺陷检测系统可解决制程和设备监控关键挑战 (2018.07.24)
KLA-Tencor公司宣布推出两款全新缺陷检测产品,在矽晶圆和晶片制造领域中针对尖端逻辑和记忆体节点,为设备和制程监控解决两个关键挑战。 VoyagerTM 1015系统提供了检测图案化晶圆的新功能,包括在光阻显影後并且晶圆尚可重做的情况下,立即在微影单元中进行检查


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