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CTIMES / 薄膜製程
科技
典故		 计算机病毒怎么来的？

计算机病毒最早的概念可追溯回1959年一种叫做 「磁蕊大战」(core war)的电子游戏，这种游戏的意义在于，程序是可以自我大量复制的，并可与其他程序对抗进行破坏，造成计算机软、硬件的损毁。而后在1987年，C-Brain程序会吃盗拷者的硬盘空间，C-Brain的恶性变种就成为吃硬盘的病毒。
KLA-Tencor以全新量测系统扩充5D图案控制解决方案 (2015.03.05)
为了因应先进集成电路制程挑战，KLA-Tencor近期推出两款量测设备，可支持16奈米(含)以下尺寸集成电路组件的研发和生产：Archer 500LCM和SpectraFilm LD10。Archer 500LCM overlay量测设备在提升良率的所有阶段提供了准确的overlay error回馈，可协助芯片制造商解决与patterning创新技术，例如multi-patterning和 spacer pitch splitting相关的overlay问题

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