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Advanced Energy为埃米时代打造电浆功率控制技术支援 (2023.07.26)
Advanced Energy发布下一代稳定和可重复的精密射频功率电源系统，协助客户在下一代半导体制造中扩大产出和收益。eVerest射频讯号产生器专为埃米时代蚀刻和沉积制程所需的精确电浆控制而打造，能够支援高度可配置的多阶层功率脉冲，从而整合到任何现有电浆功率输送系统中并改进这些系统


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