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HBM应用优势显着 高频半导体测试设备不可或缺 (2024.08.27) HBM技术将在高效能运算和AI应用中发挥越来越重要的作用。
尽管HBM在性能上具有显着优势,但在设计和测试阶段也面临诸多挑战。
TSV技术是HBM实现高密度互连的关键,但也带来了测试的复杂性 |
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JEOL推出新款Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope JSM-IT810 (2024.07.30) 从观察到分析都可以轻松、准确、快速、高效使用的仪器,逐渐成为现代人的需求。JEOL公司近日发布新款Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope JSM-IT810。JSM-IT810利用自动化技术提高了从仪器调整到观察和分析的操作效率 |
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工研院突破3D先进封装量测成果 获德律、研创资本、新纤注资共创欧美科技 (2024.05.02) 在人工智慧(AI)浪潮席卷全球之下,工研院新创公司「欧美科技」今(30)日宣布成立,将藉由非破坏光学技术为半导体先进封装带来突破性的检测应用,运用半导体矽穿孔量测研发成果,推动AI晶片高阶制程提升整体良率,帮助半导体业者快速监别产品,也获得德律科技、研创资本、新光合成纤维等注资 |
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台积电携手半导体中心推动台湾半导体研究升级 (2024.04.02) 为协助半导体领域产学接轨无落差,台积电(TSMC)捐赠量产等级高阶半导体设备给国研院半导体中心持续进行研究,协助中心培育硕博士实作研究高阶人才,双方共同推动前瞻科学技术发展,为高科技产业注入更多新动能 |
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高阶晶片异常点无所遁形 C-AFM一针见内鬼 (2024.03.21) 从电性量测中发现晶片故障亮点,逐层观察到底层仍抓不到异常?即使在电子显微镜(SEM)影像中侦测到异常电压对比(VC)时,也无法得知异常点是发生在P接面还是N接面?本文为电性异常四大模式(开路、短路、漏电和高阻值)快速判读大解析 |
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Imec展示高数值孔径EUV生态系统进展 率先导入ASML曝光机 (2024.02.26) 於本周举行的2024年国际光学工程学会(SPIE)先进微影成形技术会议(Advanced Lithography and Patterning Conference)上,比利时微电子研究中心(imec)将呈现在极紫外光(EUV)制程、光罩和量测技术方面取得的进展,这些技术都在为实现高数值孔径(high-NA)EUV微影应用而筹备 |
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显微镜解决方案助力台湾半导体技术提升研发效能 (2023.09.06) 蔡司在显微镜制造领域为各行各业提供启发灵感的专业解决方案,不仅限於显微镜本身,还包含完整的分析软体及客制化服务,协助客户达成卓越的成就。 |
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晶背供电技术的DTCO设计方案 (2023.08.11) 比利时微电子研究中心(imec)于本文携手矽智财公司Arm,介绍一种展示特定晶背供电网路设计的设计技术协同优化(DTCO)方案,其中采用了奈米矽穿孔及埋入式电源轨来进行晶背布线 |
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掌握失效分析技术关键 应对SiP微小化产品多样需求 (2023.04.21) 、SiP、能谱分析、晶片测试
内文:在5G、消费电子、车载电子和创新智慧应用的带动下,以系统封装(SiP)为代表的新型封装技术逐渐兴起,高可靠性零组件和半导体市场迎来高密度、小型化产品需求的爆发性增长 |
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应材推出电子束量测系统 提升High-NA EUV制程的控制与良率 (2023.03.08) 由於包含极紫外光(EUV)和新兴高数值孔径(High-NA)的光阻越来越薄,量测半导体元件特徵的关键尺寸变得愈来愈具挑战性。应用材料公司最新推出新的电子束(eBeam)量测系统,则强调专门用来精确量测由EUV和High-NA EUV微影技术所定义半导体元件的关键尺寸(critical dimension) |
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Fractilia将随机性误差量测导入晶圆厂 提升极紫外光微影图案化管控与良率 (2023.02.22) Fractilia宣布Fractilia Automation Metrology Environment(FAME)产品组合推出最新生力军:FAME 300。专为量产(HVM)晶圆厂制造环境所设计的FAME 300,可针对先进节点之微影图案化误差最大来源随机效应(stochastics effects),提供即时测量、检测与监控 |
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低压射出成型的腊型关键尺寸 (2022.08.25) 为了改善运用环氧树脂制作具有异形冷却水路的矽胶模具时的热传导率,本文叙述以快速模具技术来开发射出成型模具,能够提升射出成型件品质与减少冷却时间。 |
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非铜金属半镶嵌制程 实现窄间距双层结构互连 (2022.08.05) imec展示全球首次实验示范采用18nm导线间距的双金属层半镶嵌模组,强调窄间距自对准通孔的重要性,同时分析并公开该模组的关键性能叁数,包含通孔与导线的电阻与可靠度 |
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imec最新High-NA EUV技术进展 加速微影生态系统开发 (2022.04.26) 比利时微电子研究中心(imec)於本周国际光学工程学会(SPIE)举行的先进微影成形技术会议(2022 SPIE Advanced Lithography and Patterning Conference)上展示其High-NA微影技术的重大进展,包含显影与蚀刻制程开发、新兴光阻剂与涂底材料测试,以及量测与光罩技术优化 |
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评比奈米片、叉型片与CFET架构 (2022.04.21) imec将於本文回顾奈米片电晶体的早期发展历程,并展??其新世代架构,包含叉型片(forksheet)与互补式场效电晶体(CFET)。 |
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感测光的声音:以医用光声成像技术 解析人体组织 (2022.03.08) 光声学结合光波和声波,导入医学成像应用,可以发挥高解析度与侦测深度的双重优势,成为新兴生医应用的焦点技术。 |
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运用光学量测技术开发低成本精密腊型铸造 (2022.02.16) 本文描述结合ATOS 3D光学量测技术、快速模具技术以及低压射出成型技术的研究方法,如何在运用低制作成本条件下,开发具备经济效益精密腊型之批量生产技术。 |
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运用3D光学量测于金属3D列印射出成型模具 (2021.10.22) 射出成型模具可以藉由设置异形冷却水路来缩短冷却时间。本研究运用金属3D列印机台,以麻时效钢粉末制作具有轮廓异形冷却水路,以及圆形冷却水路之射出成型模具,. |
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应用材料加速半导体产业实现异质整合技术蓝图 (2021.09.13) 应用材料发布新技术与能力,帮助客户加速实现异质晶片设计与整合的技术蓝图。应用材料结合先进封装与大面积基板技术,与产业合作伙伴携手开发新解决方案,大幅改善晶片功率、效能、单位面积成本与上市时间(PPACt) |
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产学合作创新有成 国研院研发服务平台亮点成果颁奖 (2021.08.30) 为表彰产官学研各界使用国研院的研发服务平台做出顶尖的科研成果,国家实验研究院(简称国研院)今年首度征选「研发服务平台亮点成果奖」。特优奖系使用台湾仪器 |