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CTIMES / Amhs
科技
典故
从演化到多元整合──浅介Bus规格标准的变迁

一个想要满足于不同市场需求的通用型Bus标准界面,能否在不断升级传输速度及加大带宽之外,达到速度、容量、质量等多元整合、提升效能为一体的愿望?
Asyst提供晶圆厂新的自动化物料处理方式 (2008.07.23)
一个具有竞争力的晶圆厂必须一方面做到高仪器利用率,一方面又使处于制程中的晶圆量维持在最低,同时还必须让晶圆生产周期压缩到最短。这两项要求可能互相矛盾。而解决的关键是不要让简称为「AMHS」的「自动物质处理系统」成为晶圆处理过程中的瓶颈,限制了晶圆厂的表现
12吋晶圆厂的自动化趋势 (2003.12.05)
全自动化晶圆厂的概念,随着高生产力的300mm制造技术提升逐渐成型,由研发人员及设备制造商的紧密合作,为业界建立一套标准。本文分析全自动制造厂的规划与组成因素,另提出制造厂自动化概念背后所会面临的问题并作逐一的剖析与解释

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