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以全湿式单晶圆清洗方式领导市场 (2006.10.31) 晶圆清洗在半导体制程的多项步骤,包括前段制程与后段制程(BEOL与FEOL)都会出现。对于制程来说,晶圆清洗的重要性取决于减少晶圆前、后两面上粒子与污染物质,还能同时进行湿式表面准备动作的能力 |
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SEZ发表全新单晶圆FEOL光阻去除解决方案 (2006.07.20) 半导体产业单晶圆湿式清洗解决方案的领导设备供货商SEZ Group,20日宣布其已发展出可简化前段制程(FEOL)光阻去除程序之全新化学制程。SEZ专利的Enhanced Sulfuric Acid(ESA)去除制程使用一系列以硫酸为主要成分的化学制剂 |
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SEZ接获晶圆制造商订购Da Vinci的多机台订单 (2006.06.26) 半导体产业单晶圆湿式清洗解决方案的设备供货商SEZ Group宣布其已接获来自晶圆制造商订购超过12台Da Vinci平台的多机台订单。这些来自既有与新兴的先进晶圆代工厂商客户之订单,继先前韩国的订购之后,进一步提升了SEZ在亚太地区发展的潜能 |
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Soitec与SEZ合作加速应变绝缘硅基板的商业化时程 (2005.10.18) Soitec Group与SEZ Group日前宣布,双方已着手计划推动联合开发计划(JDP),藉以加快新一代应变绝缘硅(sSOI)基板的商业化时程。在联合开发计划中,两家公司将运用Soitec在工程基板的技术,以及SEZ在单晶圆、湿式处理技术之领先优势,开发新型湿式蚀刻制程,提高在sSOI制程中去除锗元素的作业效率 |
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半导体设备厂商联合媒体说明会--SEZ (2005.09.09) 将分享公司最新动态,及对亚太地区半导体产业发展趋势的看法,以及针对90奈米制程的最新晶圆洗净技术Da VinciTM |
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SEZ在日本成立硅晶背蚀刻展示据点 (2004.07.27) SEZ Group宣布在日本横滨成立一处先进产品展示据点。新据点紧邻众多芯片制造大厂,名为客户应用实验室(Customer Application Lab, CAL)。本实验室将针对该公司的硅晶背蚀刻工具提供展示与制程支持服务,协助客户将这些工具应用在后段的组装与封装制程 |
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SEZ针对高阶封装制程推出新款晶圆蚀刻设备 (2003.12.15) 半导体设备厂商SEZ Group宣布扩增其基板蚀刻工具的阵容,以满足客户对于更薄、更高效能IC封装的需求所设计。新款Galileo工具命名为GL-210,运用SEZ在单晶圆系统方面成熟的旋转处理技术,提供优异的晶圆研磨、表面处理、以及减压(stress relief)处理,支持两个主要新领域─后端的组装与封装以及前端的晶圆制造 |
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SEZ DV-38F系统获台湾晶圆代工厂商采用 (2003.11.06) 半导体产业单晶圆洗净技术业者SEZ Group日前宣布该公司最新发表的DV-38F系统已获得台湾某晶圆代工厂商的采用。DV-38F单晶圆湿式洗净旋转处理工具,是第一套运用SEZ创新Da Vinci平台的产品─一套能满足90奈米及其以下设计规格的新一代组件之生产需求,提供稳定的处理效能与高产量的模块化多重反应炉架构 |