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Qcept非光学可视性缺陷检测系统获Soitec使用 (2008.12.24)
半导体制造业新型晶圆检测系统开发商QceptQcept Technologies Inc.)宣布绝缘层上覆硅(SOI)与其他工程基板的供货商Soitec公司,将采用其ChemetriQ 3000非光学可视性缺陷(NVD)检测系统
Qcept提供晶圆快速在线非光学可视性缺陷侦测 (2008.06.13)
Qcept的ChemetriQ 3000提供整片晶圆的快速在线非光学可视性缺陷(NVDs)侦测,包括了有机、无机、金属污染、制程导致的电荷、水渍或其他的非光学可视性缺陷。NVDs无法以光学检测系统探测,在尖端晶圆厂中,占了所有缺陷的30%


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