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Cymer推出XLA 100高效能光源XL系列 (2002.09.24)
半导体制造准分子雷射光源供货商-Cymer，日前宣布推出XLA 100 - 最新高效能光源XL系列的第一套产品，此家族将支持三个深紫外光波长的先进微影应用。XLA 100氩氟光源采用Cymer创新的MOPA（Master Oscillator Power Amplifier）双气体共振腔技术，不但是业界功率最高、带宽最窄的雷射光源，还能大幅提高193 nm微影应用的产出


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