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制备衍射编码的微颗粒采用奈米压印光刻技术-制备衍射编码的微颗粒采用奈米压印光刻技术 (2011.08.22)
制备衍射编码的微颗粒采用奈米压印光刻技术
微影技术的未来 浸润式vs.奈米压印 (2004.02.17)
2003年12月,半导体微影技术,正式进入另一个技术领域。在此之前,我还以为微影技术仍会照着ITRS(国际半导体技术蓝图)的原先蓝图进展,混然未察觉的是,在这个微寒的冬季,科技有又有重大的进展:「浸润式微影技术」(Immersion Lithography)隆重登场
微影技术的未来 浸润式vs.奈米压印 (2004.02.05)
2003年的12月已成为半导体产​​业重大技术的转戾点,不论是浸润式或者奈米压印式微影技术在未来都将成为市场主流。


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