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看穿病毒面目 诺贝尔奖得主Betzig擘划显微镜的未来 (2020.02.07)
光电科技工业协进会(PIDA)指出，今年美西光电展的焦点在量子、奈米科技、材料、生医等方面，其光电会议涵盖次世代Data Center、量子计算、显示与全像技术、奈米科技、积体光学、微光机电系统（MOEMS），和光通讯，以及光电在各种商业的应用等议题
大批量制造的装置叠对方法 (2016.07.06)
本文介绍 DI/FI偏差表征结果和变化来源，并介绍对DI调整馈送 APC 系统的影响。本文回顾该方法在大批量制造（HVM）晶圆厂的实施详情，并在文章最后将讨论该研究的未来方向
意法半导体率领欧洲研发项目，开发下一代光学MEMS产品 (2015.03.02)
意法半导体（STMicroelectronics；ST）将担任Lab4MEMS II项目负责人。Lab4MEMS II是以第一代Lab4MEMS项目（始于2013年4月）的成功经验为基础而扩展的第二代项目计划，实现下一代应用技术
特别光学微机电系统技术领域回顾-特别光学微机电系统技术领域回顾 (2012.07.10)
特别光学微机电系统技术领域回顾
光学微机电系统---MOEMS-光学微机电系统---MOEMS (2012.07.10)
光学微机电系统---MOEMS
多层磷化铟为 MOEMS 的微型光谱仪独立式微结构制作-多层磷化铟为 MOEMS 的微型光谱仪独立式微结构制作 (2011.12.29)
多层磷化铟为 MOEMS 的微型光谱仪独立式微结构制作
组装透过三维重构混合 MOEMS Microrobotic 方法-组装透过三维重构混合 MOEMS Microrobotic 方法 (2011.12.29)
组装透过三维重构混合 MOEMS Microrobotic 方法
测定焊料凸点对峙高在倒装芯片的子式微型光机电系统（MOEMS）封装应用-测定焊料凸点对峙高在倒装芯片的子式微型光机电系统（MOEMS）封装应用 (2011.12.29)
测定焊料凸点对峙高在倒装芯片的子式微型光机电系统（MOEMS）封装应用
特殊的微型光机电系统技术的区域回顾（MOEMS）-特殊的微型光机电系统技术的区域回顾（MOEMS） (2011.12.29)
特殊的微型光机电系统技术的区域回顾（MOEMS）
线性双轴 MOEMS 的太阳传感器和 MEMS 用于外层空间需要-线性双轴 MOEMS 的太阳传感器和 MEMS 用于外层空间需要 (2011.11.22)
线性双轴 MOEMS 的太阳传感器和 MEMS 用于外层空间需要
MOEMS 应用中使用在多孔硅的分级滤光镜片-MOEMS 应用中使用在多孔硅的分级滤光镜片 (2011.11.04)
MOEMS 应用中使用在多孔硅的分级滤光镜片
一种新的方法使用 MOEMS 的可编程影像-一种新的方法使用 MOEMS 的可编程影像 (2011.11.04)
一种新的方法使用 MOEMS 的可编程影像
在恶劣条件下的微光机电系统的可靠性-在恶劣条件下的微光机电系统的可靠性 (2011.11.04)
在恶劣条件下的微光机电系统的可靠性
MEMS 和 MOEMS 的应用：集成微系统技术 Micropackaging-MEMS 和 MOEMS 的应用：集成微系统技术 Micropackaging (2011.10.28)
MEMS 和 MOEMS 的应用：集成微系统技术 Micropackaging
技术应用和未来的微机电系统（MEMS）和微光学机电系统（MOEMS）-技术应用和未来的微机电系统（MEMS）和微光学机电系统（MOEMS） (2011.10.28)
技术应用和未来的微机电系统（MEMS）和微光学机电系统（MOEMS）
哈姆处理技术 MEMS 和微光机电系统设备使用的 SOI 衬底和键合 DRIE-哈姆处理技术 MEMS 和微光机电系统设备使用的 SOI 衬底和键合 DRIE (2011.05.27)
哈姆处理技术 MEMS 和微光机电系统设备使用的 SOI 衬底和键合 DRIE
HARM技术MEMS和微光机电系统使用SOI衬底和深蚀刻设备-HARM技术MEMS和微光机电系统使用SOI衬底和深蚀刻设备 (2010.09.20)
HARM技术MEMS和微光机电系统使用SOI衬底和深蚀刻设备
微(光)机电系统设备的动静态特性采用光学干涉显微镜-微(光)机电系统设备的动静态特性采用光学干涉显微镜 (2010.08.24)
微(光)机电系统设备的动静态特性采用光学干涉显微镜
延续高涨气势 微型投影准备喷出新商机 (2010.01.13)
微型投影也是此次CES 2010展会上另一备受瞩目的焦点，包括Microvision、德州仪器（TI）、3M、亚洲光学、奥图码（Optoma）、LG、HP、NTT DoCoMo等都推出相关支持微型投影功能的新产品
CT焦点：微型投影三分天下 行动应用备受瞩目 (2009.08.20)
近日市调机构iSuppli的调查报告指出，未来4年内微型投影装置应用在智能型手机的出货量将成长60倍；嵌入式微型投影装置的出货量，将从今年少于5万颗，成长到2013年超过300万颗


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