本课程针对工业领域探讨「原子层沉积技术」的应用结合，包含半导体制程、光电组件、OLED领域、太阳能电池，其具备原子级薄膜厚度控制和高阶梯覆盖率等优点，可有效解决半导体奈米制程问题，同时可使用于MEMS和奈米粒子等复杂结构所需要的均匀薄膜覆盖沉积。