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次世代半导体材料发展趋势研讨会
 


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開始時間﹕ 九月二十七日(四) 13:30 結束時間﹕ 九月二十七日(四) 16:30
主办单位﹕ 經濟部工業局
活動地點﹕ 工研院51馆4楼国际会议厅-竹东镇中兴路四段195号
联 络 人 ﹕ 鄭小姐 联络电话﹕ 03-5919297
報名網頁﹕
相关网址﹕ http://www.itri.org.tw/chi/news_events/seminar/showpost-s.jsp?postno=16112&smncd=16112

半导体产业跨入奈米制程后,研发上节点的推进呈现停滞在32nm的状态,不论是微影制程、清洁(Cleaning & Stripper)、CMP平坦化及电镀(Copper plating)均尝试加以突破;而45nm的量产也正在进行 准备当中。

台湾半导体产业目前处于全球半导体技术发展浪潮的顶端,如何在前期突破技术的限制、结合先进材料的优势,以取得实值的技术领先及成本降低,实为目前产官学戮力的目标。此研讨会特别邀请业界专家,从奈米材料在45nm的技术发展,以及Stripper与Post-CMP Clean的趋势,共同探讨半导体材料的未来发展方向,以提供未来半导体技术发展合宜的解决方案。

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