據網站Silicon Strategies報導，儘管半導體產業景氣日益惡化，微影設備供應商ASML仍維持先前預測，估計該公司今年下半年微影設備出貨量可達100台。

ASML指出，由於半導體景氣未嘗出現回彈跡象，使該公司微影設備訂單極不穩定，有客戶要求提前交貨，亦有客戶要求延期，可能造成2002年下半、2003年上半微影設備出貨量有大變動。該公司依照產業景氣預估，2003年上半僅可出貨60台。

ASML總裁暨執行長Doug Dunn亦指出，客戶中仍有添購高階微影設備者，顯然是為了迎接晶片需求量回升之日。但根據該公司訂單變動情形估計，恐怕沒有業者能準確預測需求回彈的時間及強度。