据网站Silicon Strategies报导，尽管半导体产业景气日益恶化，微影设备供货商ASML仍维持先前预测，估计该公司今年下半年微影设备出货量可达100台。

ASML指出，由于半导体景气未尝出现回弹迹象，使该公司微影设备订单极不稳定，有客户要求提前交货，亦有客户要求延期，可能造成2002年下半、2003年上半微影设备出货量有大变动。该公司依照产业景气预估，2003年上半仅可出货60台。

ASML总裁暨执行长Doug Dunn亦指出，客户中仍有添购高阶微影设备者，显然是为了迎接芯片需求量回升之日。但根据该公司订单变动情形估计，恐怕没有业者能准确预测需求回弹的时间及强度。