由於晶圓代工景氣不如預期，台積電、聯電今年二度調降資本支出計畫，台積電今年初預估資本支出35億美元，之後向下修正至28億美元，再降至22億美元。台積電主管表示，台積電今年資本支出可能低於原先預期金額。儘管台積電已度過5、6月的谷底，業績正緩慢提升中，但台積電董事長張忠謀表示，2001年第四季產能利用率仍無法回到第一季的水準。

對於台積電調降財測一事，張忠謀表示，因財測是在4月公佈，而近3個月的情況比7月想像的樂觀，也就更確定第三季比第二季好，第四季又比第二季好的說法。張忠謀說，每一季公佈財測目標，比1年1次估財測好的多；聯電主管表示，明年資本支出傾向較今年少，不影響12吋晶圓廠擴充，聯電位於新加坡的12吋晶圓廠開始興建，明年裝機，預計後年量產。已有買主關心聯電要賣出的8吋晶圓設備，聯電將以銅製程、12吋晶圓擴充為主。

據設備廠商估算，台積電今年實際資本支出應在18億到19億美元，可能不到20億元。台積電第三季產能利用率低於四成，也就是說六成以上8吋晶圓機台閒置，在明年上半年景氣未見復甦跡象，業者投資意願較保守。設備業者今年接獲的設備訂單以銅製程、0.15微米8吋晶圓設備為主。業者表示，半導體庫存問題逐漸改善，但市場需求仍低，雖然晶圓代工廠商第四季接單比第三季好，但幅度有限，明年第一季接單可能不如預期。

911事件發生後，半導體設備業者紛紛重新評估明年可接獲的設備訂單，一名設備廠商表示，從台積電、聯電的投資策略來看，明年半導體產業景氣仍有變數，明年上半年可能不比今年下半年好，業者寧可保留手中現金。