根据市调机构Gartner Dataquest最新报告指出，受到整体IC产业的不景气影响，2002年全球光罩设备与微影设备市场皆出现衰退情况。以个别厂商表现来看，日商东芝（Toshiba）取代应用材料（Applied Materials）公司，拿下光罩市场龙头厂商宝座；荷商ASML则为微影设备市场的第一名业者。

Dataquest指出，2002年光罩设备市场衰退22.3％，销售额减为2.5亿美元；在厂商表现部分，东芝2002年销售额虽下滑至7820万美元，市占率却增加为31.1％；原为市场第一的应用材料，由于在电子束等市场受到冲击，2002年市占率从2001年的29.8％滑落为28.1％，销售额为7040万美元。排名第三的则为日立（Hitachi），该公司2002年市占率从2001年的12.4％提高为18％；日商JOEL与瑞典商Micronic Laser Systems分列四、五名。

在微影设备市场部分，2002年亦出现26％的衰退，销售额减为28.3亿美元；在厂商部分，ASML持续增加新客户，在2002年的市占率从2001年的28.8％提高为54.3 ％，销售额达15.3亿美元；排名第二的Nikon，市占率则由39.4％滑落为27.5％，销售额则从2001年的14.9亿美元，减为7.73亿美元。位居第三的Canon亦从31.2％下滑为17.8％，销售额则由11.8亿美元减为5亿美元。