根據市調機構Gartner Dataquest最新報告指出，受到整體IC產業的不景氣影響，2002年全球光罩設備與微影設備市場皆出現衰退情況。以個別廠商表現來看，日商東芝（Toshiba）取代應用材料（Applied Materials）公司，拿下光罩市場龍頭廠商寶座；荷商ASML則為微影設備市場的第一名業者。

Dataquest指出，2002年光罩設備市場衰退22.3％，銷售額減為2.5億美元；在廠商表現部分，東芝2002年銷售額雖下滑至7820萬美元，市佔率卻增加為31.1％；原為市場第一的應用材料，由於在電子束等市場受到衝擊，2002年市佔率從2001年的29.8％滑落為28.1％，銷售額為7040萬美元。排名第三的則為日立（Hitachi），該公司2002年市佔率從2001年的12.4％提高為18％；日商JOEL與瑞典商Micronic Laser Systems分列四、五名。

在微影設備市場部分，2002年亦出現26％的衰退，銷售額減為28.3億美元；在廠商部分，ASML持續增加新客戶，在2002年的市佔率從2001年的28.8％提高為54.3％，銷售額達15.3億美元；排名第二的Nikon，市佔率則由39.4％滑落為27.5％，銷售額則從2001年的14.9億美元，減為7.73億美元。位居第三的Canon亦從31.2％下滑為17.8％，銷售額則由11.8億美元減為5億美元。