五月中，張忠謀面對台機電股東的質詢，以不耐又幽默的口吻要信仰宗教的人以宗教力量讓老天下雨，好讓可能因此停擺的晶圓製造業可以順利進行。老天真的能用水解決大量工業用水問題嗎？

一般而言，每片八吋晶圓所消耗的純水製程中約介於2.0M/片~2.5M片之間，即純水的消耗量約在2.000 M/天至2.500M/天之間，這還不包括將水質純化的含量，其中水處理系統用水量落差高達30﹪（約在45﹪~75﹪間）顯示工業用水節約之經濟效益，若再加上廢氣洗滌用水，酸簡中和用水實在不可小覤。

一座月產三萬片晶圓之八吋晶圓廠，製程後其用水量可達700M/天，用水之鉅更值得深思，政府在五月間亦頒行法令獎勵半導體製造業者以回收的形式善用水資源。不過這條政令的「回收85﹪」對製造晶圓過程中那個部份可做大量回收，原始估量水的標準，以及是否了解業者對水資源需求和成本的考量等都出現了極大的爭議，無法全盤摸熟產業生態的政策，常常讓業者啼笑皆非，招致無法推行命運，這次的水政，恐怕也將只有「精神上」服從的結果。

其實水荒問題除了可以在老天爺開源一途之外也可另做規劃，交大教授趙天王博士就指出，除了從製程中節約，回收水源以外，可在製造的一開始就利用酸鹼溶劑的特性，使之更加簡便，並用省去來回沖洗的手續，大幅降低人力物力，更珍惜水資源。

另一方面，業者千萬不要抱持「勿以惡小而為之」的心態，讓機台因此有損耗水資源的嫌疑，製程中F、R槽的水可以全部回收，並做分類，如此一來方可達到最大回收量及減少廢水成本的功效；或再者針對F、R槽內的Wafer清洗時間更加留意，將能有助改善大量用水的困擾。

俗話說「天助自助」注意水資源的運用，和等天下雨一樣重要，若是能多花一份心力，將可發現福氣就是這樣珍惜來的！