KLA-Tencor公司发布最新的探针式表面轮廓测量系统P-6，该系统针对光电太阳能电池制造等科学研究与生产环境，提供一组独特的先进功能组合。P-6系统具备以先进半导体轮廓仪系统开发的测量技术优势，但采用了较小、较经济的桌面型机台设计，可接受最大至150厘米的样本。

KLA-Tencor成长与新兴市场集团副总裁Jeff Donnelly表示：「我们很开心能推出P-6探针系统，该系统将为科学与太阳能客户提供应用上最佳的功能组合。对于太阳能市场，P-6能够在开发阶段提高太阳能电池效率、监控生产制程质量所需的分辨率、扫描质量以及自动控制能力。」

P-6 探针式轮廓仪包含了KLA-Tencor自动化 P-16+ 探针式轮廓仪的众多功能，包括低噪声基底可改善对微小表面特征的测量灵敏度、小于6埃的阶高可重复性，确保了严苛的制程控制、150毫米 X-Y样本载台可实现覆盖整个基底的单一测量、2D应力测量与分析可将缺陷降至最低并提升良率及容易操作的分析软件，能提供高阶应用的灵活性。

P-6轮廓仪已通过重要太阳能产品制造商 BP Solar的合格认证。BP Solar技术副总裁 Eric Daniels表示：「经由对KLA-Tencor P-6系统的评估，我们证明其对于多种表面量测应用系统的一系列制程条件，具备高灵敏性，其中包括ARC薄膜、导线触点及前表面纹理结构。对于支持我们的技术开发与生产改善，P6是一项极富价值的工具。」