创新半导体供货商ST,2005年12月5~7于美国华盛顿举办的国际电子组件会议(International Electron Devices Meeting,IEDM)中,提出了13份技术文件。ST发布的技术文件包含全球首次披露的65奈米NOR闪存制程技术,这种组件具有0.042平方微米的超小型单元尺寸,并采用新颖的异质结构双极晶体管(HBT)架构,能针对大量应用实现低成本、高性能的RF CMOS平台。
“在今年IEDM中展示的技术与尺寸微缩能力,再次证实了ST的研发实力,ST不仅领导创新,同时也具备驱动半导体技术向更先进制程迈进的能力,”ST先进技术与制造部执行副总裁Laurent Bosson表示。“这次的展出证实了ST具备高水平的研发能力,同时也证明了ST拥有与其他伙伴密切合作的实力,包括Crolles2联盟与来自其他多个国家之世界级研究单位在内。”
为确立在非挥发性内存(NVM)市场上的领导地位,ST发表了65奈米NOR闪存技术,该技术能以0.042平方微米的超小型单元尺寸实现高效能的每单元1位及每单元2位产品。瞄准当前无线应用对高密度闪存的迫切需求,ST的新技术运用了钴自动对准硅化闸(cobalt salicide)与三层铜金属,来整合65奈米NOR闪存数组,以及针对1.8V应用的低电压CMOS逻辑。