繼韓國三星日前宣佈以0.11微米量產DRAM後,德商DRAM廠英飛凌也宣佈以0.11微米溝槽式(Trench)製程試產256Mb DRAM,並且獲得英特爾驗證,目前已進入量產階段,未來該製程將授權華邦、華亞、中芯等策略夥伴。
英飛凌表示,以0.11微米量產256Mb DRAM,與0.14微米製程相較,新製程可減少30%的製造成本,可提升50%以上的產出;與其它競爭者相較也減少10%。0.11微米製程由德國Dresden8吋晶圓廠開發,試產成功後將移至8吋與12吋廠量產。
據了解,英飛凌將193奈米微影技術,應用於0.11微米製程量產DRAM,此舉能在最短的時間內,將製程微縮至奈米製程;0.11微米可生產DRAM、DDR-II以及高速繪圖卡用DRAM。