據Digitimes報導，中國大陸上海地區的半導體群聚效應，亦吸引光罩業者紛紛進駐，集中於長江三角洲一帶，包括外商杜邦、福尼克斯（Photronics）以及當地廠商中芯國際；其中福尼克斯已在上海張江園區投資建設光罩廠，並鎖定上海地區的半導體晶圓代工廠為客戶對象。

該報導指出，目前大陸自有的光罩技術大多仍在研究階段，還未能進入商業化量產，因此大陸光罩市場中的廠商以杜邦、福尼克斯等外商為主。福尼克斯在上海張江園區所興建的工廠總面積約1.8萬平方公尺，投資金額為2900萬美元，可提供到0.25微米製程的光罩，但主要產能集中於0.35微米以上製程。相對於福尼克斯，杜邦上海僅僅作為交易的平臺，其產品和服務的提供則由臺灣、新加坡廠商運作，並沒有完成本土化。

相對於國際光罩廠在大陸的動作，大陸廠商也積極展開光罩產品開發與生產的動作，中芯國際已建設了光罩廠，但目前中芯國際所建設的光罩廠主要提供0.18微米製程產品。而根據中芯國際員工表示，中芯國際目前建設光罩廠及現在建設的測試服務項目，都將是針對中芯國際內部運作而用，並不會提供對外服務。

除中芯國際外，無錫也已擁有光罩廠，而投資建設光罩廠的則是華潤集團。其光罩廠雖說已表示完全對外供貨，但由於華潤集團本身擁有包括無錫華晶這樣的晶圓廠，故其產品開發也主要集中於0.5微米左右進行生產。由於大陸大量晶圓加工廠所生產的產品集中於0.35微米，故國外廠商看好大陸市場0.35微米及0.5微米製程。據福尼克斯上海人員表示，目前福尼克斯已經開發出65奈米光罩技術，但真正大範圍應用於生產的則還是在0.18微米左右。