使用電漿製程技術之MEMS(微機電系統)與相關市場之成長蒸蒸日上。電漿製程技術廠商Surface Technology Systems plc(STS)宣佈，該公司新一代Pegasus晶圓深層蝕刻機(DRIE)已爭取到德國自動化MEMS設備製造大廠博世(Robert Bosch)之訂單。該業務強化雙方長久以來的合作關係，也是Pegasus自從2005年6月28日推出以來，所接獲的第五張重要訂單。

Pegasus系統將會安裝在Bosch位於德國魯特林根(Reutlingen)的晶圓廠，未來將用於多項研發計畫中，開發新的MEMS設備。STS軟體靈活性高，加上可直接手動控制之系統，讓Bosch等廠商能`提升個別製程的效能，確保產品品質與高良率。在MEMS市場中，設備設計經常隨各個不同廠商而有顯著差異，該公司的設備足以因應客戶群之不同需求。

除了Pegasus技術所能提供的製程優點以外，STS此次贏得Bosch青睞的另一主因，在於STS承諾在德國境內提供客戶支援與服務。今年初，STS重新整頓並加強位於烏爾姆(Ulm)之德國辦公室的工作團隊，並指派一位區域客戶支援協調主管前往領導該團隊。