Numerical與三星電子近日簽署一份授權協議,Samsung將透過Numerical的相移技術(phase-shifting)生產新一代SRAM產品。在簽署此項協議之前,雙方團隊歷經長時間的研發合作,為此項產品進行120奈米元件生產製程的改良,預計將於明年初開始進行量產。
Numerical生產驗證的相移技術已廣泛被全球各地的晶圓製造廠採用建置,透過現有的光學顯影設備,提供半導體製造廠商可靠且低成本的模式,以生產各種次波長積體電路(subwavelength IC)。Numerical的相移技術為目前唯一已可實際銷售的相移技術,並已被廣泛運用於IC元件生產。過去,這項技術曾與248奈米蝕刻設備一起被應用於實驗室環境中,生產全球尺寸最小之9奈米電晶體元件。
Samsung公司副總裁Dr.Jeong-Taek Kong表示,「Numerical的相移技術的初步試產結果,不僅能幫助我們製造出經濟實惠、具有優秀良率,並進一步符合我們與客戶高度期望的100奈米元件,更可協助我們運用精確無誤的技術且趕上產品研發時程表的進度。」
Numerical公司代理總裁兼執行長Naren Gupta表示,「讓顧客成功一直是我們企業的經營理念,我們很高興能夠扮演協助Samsung生產新一代的記憶體產品元件的關鍵角色。雖然雙方歷經長久的努力與堅持,但最終能夠達成此項授權協議,Numerical更樂於見到雙方努力推動的新製程即將投產。」