半導體製程設備、技術及支援服務供應商FSI International宣布,一家全球領先的美國半導體公司已向FSI訂購多套8/12英吋晶圓混用型MAGELLAN浸泡式清洗製程設備;該公司是由於MAGELLAN能提供最好的微粒清洗效果和蝕刻均勻性而決定採購這套製程設備。此一設備預計於FSI 2007會計年度的上半年出貨並用於實際的生產作業。
FSI主席暨執行長Don Mitchell表示:「在成功通過客戶晶圓廠的評估後,此一訂單是對於MAGELLAN強大製程能力的進一步肯定。由於我們認為濕式製程設備市場並未獲得充份的技術支援,因此決定進入這個規模數十億美元的市場。這份訂單說明只要供應商能提供製程效能優異的獨特產品,那麼成熟市場也會有許多商機。」
MAGELLAN製程設備是一種8/12吋晶圓混用型機台(bridge tool),其所提供的最佳製程效能和組態配置能力可用來克服先進IC開發與製造的各種挑戰。FSI獨家擁有的表面張力梯度(STG)洗濯/乾燥、SymFlow蝕刻和MegaLens超音波清洗技術為這套設備帶來領先業界的功能。MAGELLAN製程設備除了不會在任何表面留下水痕之外,還能提供精確均勻的薄膜蝕刻能力、超高的微粒去除效率以及優異的瑕疵控制能力。MAGELLAN製程設備訂價從150到500萬美元,實際價格視採購數量和最終配備而定。