全球性半導體製程設備、技術及支援服務供應商-FSI International日前宣佈，由於歐洲、亞太地區、日本和美國主要半導體廠商的需求強勁，該公司ANTARESR CryoKinetic清洗設備的銷售在2005年第三個會計季再創佳績。ANTARES設備過去主要用於後段製程的瑕疵去除，現在隨著愈來愈多客戶開始利用90奈米技術生產半導體元件，這套清洗設備也獲得更多廠商採用。

FSI主席暨執行長Don Mitchell表示：「ANTARES清洗設備持續獲得全球客戶新增與續約訂單的熱烈支持。隨著90奈米製造進入量產，未來新技術又逐步投入應用，我們預期客戶對於這套設備的興趣將繼續增加。在先進半導體元件製造的環境下，銅金屬、多孔性低介電係數和其它先進材料以及精密電路結構都要求不會造成表面損害的清洗技術，而CryoKinetic技術為IC製造商提供一套可靠和實證有效的方法，幫助他們提高生產良率。」