据Digitimes报导，台湾DRAM业者12吋厂建厂速度持续加快，但因竹科第三期土地无法如期征收，土地取得困难，业者纷计划将接下来的12吋厂投资目标地点，移往在离竹科较近的中部科学园区，初步估算投资规模将达新台币2500亿元。

华邦电已确定在未来5年内投资1000亿元于中科园区，取得土地面积约13公顷；力晶旗下第三座12吋厂现也已进入选地阶段，力晶据了解也将以中科园区为优先考虑对象。茂德第二座12吋厂建置已是迫在眉睫，因此若竹科第三期无法在原订2004年第一季末动工前完成征收，茂德很可能将12吋厂建置转向中科园区。

力晶及茂德12吋厂投资规模均逾700亿元，加上华邦电确定投资1000亿元，未来DRAM厂在中科园区初期投资可望上看2500亿元。DRAM厂商表示，由于中科园区目前还处于开发阶段，土地租金远较竹科便宜，每平方米土地平均租金不到2～3元，就算进入下一阶段开发，中科园区租金顶多达到每平方米约5～6元，而这样的租金约仅是竹科的八分之一，对DRAM厂相当具吸引力。

此外，中科园区所提供土地较南科平坦，对于需要稳定度高的DRAM厂而言，当然会优先考虑中科园区；加上南科高铁问题至今尚未获得解决，DRAM厂考虑未来平均生产良率问题，中科园区遂成为第一优先选择。