日本半导体制造设备协会（SEAJ）日前公布最新统计数据显示，3月日制半导体设备销售额较去年同期衰退了35.7％，日系半导体设备商似乎仍未感受到景气复苏的迹象。

据SEAJ统计，2003年3月日制半导体制造设备接单额为717.6亿日圆，较2月增加13％，却较2002年同期减少35.7％。接单额的衰退亦意谓着未来半年内，日本半导体设备商如TEL、Advantest、Nikon等，恐将再度面临市场复苏减缓的局面。

以设备别来看，晶圆制程用处理设备接单额约为421.7亿日圆，较去年同期减少46％。而测试设备接单额亦微幅缩减2.4％，达135.3亿日圆。

销售方面，3月日制半导体制造设备销售额约为1476.3亿日圆，年成长率约为41.3％，并已连续7个月成长。 3个月移动平均（B／B值）为0.71，已连续2个月低于平均值1。