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| EV GROUP将革命性薄膜转移技术投入量产 |
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【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1
报导】
2023年12月12日 星期二
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浏览人次：【2414】
EV Group（EVG）宣布推出EVG 850 NanoCleave薄膜剥离系统，这是首款采用EVG革命性NanoCleave技术的产品平台。EVG850 NanoCleave系统使用红外线（IR）雷射搭配特殊的无机物材质，在透过实际验证且可供量产（HVM）的平台上，以奈米精度让已完成键合、沉积或增长的薄膜从矽载具基板释放。因此，EVG850 NanoCleave无需使用玻璃载具，可为先进封装达成超薄的小晶片堆叠，并为先进逻辑、记忆体与功率元件的制作等前端处理达成超薄的3D薄膜堆叠，以支援未来3D异质整合的产品发展蓝图。
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