家登精密工业(LTD),日前荣获2007年第十六届台湾国家盘石奖以及青年创业楷模奖两项殊荣的肯定。家登精密成立于1998年,设立初期主要专注在射出模具与高精度零件的制造与设计。自2000年开始,家登精密进入黄光制程领域,致力于半导体前段制程设备与高阶光罩储存、传输以及清洗设备的研发,目前已成为此领域的世界第一大制造厂商之一。
总部设于台北县的家登精密,由董事长兼总经理邱铭干先生以及副总经理林添瑞先生在1998年3月时成立,取名意喻『家』喻户晓─成为世界级的企业;『登』峰造极─拥有世界级的技术。而家登精密过去十年来的发展也的确不负众望,自行研发出优良的技术与产品,在国际半导体业界与多家大厂合作,质量服务均获得一致好评,成为出色的半导体前段制程高阶设备供货商,目前员工人数达125人。公司成立初期专司模具加工制造,但在第二年时切入半导体前段黄光制程,开始长达一年半黄光微影零组件研究,并于来年研发成功,让家登精密有机会与台积电展开维持至今的合作关系。
一路走来,家登精密在研发上的成果丰硕,为公司的发展史写下许多优异的里程碑。2004年8月,与台积电合作研发90奈米制程良率改善之储存运送制品Reticle SMIF Pod(光罩传送盒),奠定了家登精密研发团队在半导体黄光区领域解决方案能力的实绩。2006年更开发出光罩清洗机,进而成功切入12吋晶圆厂内为其清洗高阶90奈米制程用之光罩,再次成功转型跨入设备制造。
在半导体制程中,『黄光微影制程技术』的突破往往决定半导体工业的发展速度,因为空气中化学污染和微粒问题,会直接影响到晶圆和光罩传送盒的净化程度,是各大半导体厂极需解决的问题。家登精密的微污染与静电防治团队阵容实力坚强,推出以英国威格斯公司的VICTREX ESD PEEK聚合物为基材的8”晶舟(wafer cassette)。晶舟是放置于晶圆盒内用于承载、传送和保护晶圆的容器。采用VICTREX ESD PEEK所制造的晶舟,可避免晶圆与晶舟沟槽因摩擦产生静电放电(Electrostatic Discharge;ESD)而导致电路烧坏或因静电吸附而导致晶圆遭到污染,以达到降低静电累积与防护的目的。而其拥有的低发尘量/低析出物,能够减少晶圆与晶舟沟槽之间的接触点形成发尘或微粒产生,避免造成晶圆瑕疵。
而在其他半导体相关零件方面,家登精密使用VICTREX PEEK聚合物制造8”与12”化学机械研磨环(Chemical Mechanical Planarization Ring;CMP)。VICTREX PEEK拥有耐磨耗特性、低微粒产生、高纯度与耐化学性,不但符合化学机械研磨制程中的严刻要求,并可延长CMP环在化学机械研磨(或称晶圆研磨)过程中的使用寿命。因此,采用VICTREX PEEK所制造的CMP环可减少因更换已磨损的CMP环而产生的停工时间,进而降低每个晶圆的生产成本。
家登精密董事长邱铭干表示:『家登精密自成立以来便以「价格合理」、「产品精良」以及「配合度高」为宗旨,致力于技术与产品的开发,并不断超越自我,在半导体工业迈向更大晶圆尺寸、更高密度、更严苛生产环境的今天,为客户提供解决方案。此次荣获国家盘石奖以及青年创业楷模奖,代表家登精密多年来的努力再次受到肯定。放眼未来,我们将持续引进先进的材料和技术,提供具竞争优势的产品,并不断开发新型半导体制程设备产品,提高终端用户的制程良率与协助其降低系统总成本。』