VICTREX PEEK聚合物、VICOTE涂料和APTIV薄膜等高性能材料制造商英国威格斯公司（Victrex plc）宣布，光罩全方位解决方案供货商-家登精密股份有限公司已采用VICTREX PEEK聚合物作为其最新款150mm单光罩标准机械接口传送盒，简称光罩传送盒（single-reticle SMIF-pod；RSP）应用的主要组件材料。透过将VICTREX PEEK聚合物具高硬度、极少的微粒产生量、高洁净度以及强ESD性能等特性用于与光罩的所有接触点上，此款专门设计的光罩传送盒，能有效地在生产、传送以及处理光罩过程中，减少微粒的产生与气体的释出。

光罩传送盒应用的关键在处理传送盒的过程中，包括打开与关上输送箱时，需减少或避免微粒的产生或气体的释出。因此，严格选择传送盒的材料是相当重要。家登精密技术经理李柏欣表示：「处理和打开光罩传送盒可能会导致光罩受到污染与损坏。此外，当半导体晶圆制程中透过传送盒隔开光罩时，传送盒必须满足几项重要的要求，包括：限制接触面积，以确保光罩仅与斜削角接触，而且不会在传送盒内滑动；微粒区隔，以保护较小的图形与大大降低晶圆制造成本；作业员区隔，以避免光罩处理失误和刮伤以及ESD破坏；制程控制，以避免处理日益复杂的光罩时出现失误。」

由于VICTREX PEEK聚合物具有高硬度、极少的微粒产生量、高洁净度以及强ESD性能等特性，家登精密工业可放心地采用VICTREX PEEK聚合物于其光罩传送盒的某些关键接触点与处理点上。此外，VICTREX PEEK具有卓越的耐化学性、耐磨损性、耐水解性、优秀的电介质强度以及出色的耐辐射性能，因此能够满足、甚至超越该应用对关键材料的全部要求。特别是，VICTREX PEEK的微粒脱落特性较其他竞争材料更为优越，而且具有极低的可萃取物特性或挥发特性。李柏欣表示：「VICTREX PEEK独特的综合特性、优异的释气与微粒性能是我们选择Victrex 的最大原因。」