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Intel誓言:45nm之後 摩爾定律不變
 

【CTIMES/SmartAuto 王岫晨 報導】   2007年05月30日 星期三

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Intel誓言在45nm之後,摩爾定律將延續不變。Intel的LSI技術策略研究員暨技術策略總監Paolo A. Gargini表示,即使在45nm以後,也將延續每兩年電晶體數量倍增的晶圓製程技術。繼2007年下半年量產的45nm之後,Intel於2009年將開始32nm製程、2011年將開始22nm製程的量產。此外,透過導入多柵極構造及新溝道材料技術的改進,摩爾定律將延續至往後10~15年。

Intel致力於CMOS電晶體的技術革新,並以45nm製程的高介電率絕緣膜及金屬柵極的實用化為發展方向。Intel一直默默研究如何減低45nm製程量產時的元件缺陷,因此良率以和過去65nm製程相同的速度提高。

關於32nm的曝光技術,Intel表示將導入使用純水的液浸ArF曝光技術,透過光學臨近修正(OPC)及相移掩膜技術的改進來達成。而EUV(超紫外線)曝光則將在22nm製程以後使用。

關鍵字: Intel(英代爾, 英特爾電子邏輯元件 
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