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Intel誓言:45nm之后 摩尔定律不变
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2007年05月30日 星期三

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Intel誓言在45nm之后,摩尔定律将延续不变。Intel的LSI技术策略研究员暨技术策略总监Paolo A. Gargini表示,即使在45nm以后,也将延续每两年晶体管数量倍增的晶圆制程技术。继2007年下半年量产的45nm之后,Intel于2009年将开始32nm制程、2011年将开始22nm制程的量产。此外,透过导入多栅极构造及新沟道材料技术的改进,摩尔定律将延续至往后10~15年。

Intel致力于CMOS晶体管的技术革新,并以45nm制程的高介电率绝缘膜及金属栅极的实用化为发展方向。Intel一直默默研究如何减低45nm制程量产时的组件缺陷,因此良率以和过去65nm制程相同的速度提高。

关于32nm的曝光技术,Intel表示将导入使用纯水的液浸ArF曝光技术,透过光学临近修正(OPC)及相移掩膜技术的改进来达成。而EUV(超紫外线)曝光则将在22nm制程以后使用。

關鍵字: Intel  电子逻辑组件 
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