全球氣候異常，暖化現象促使各國開始制定各式環保規範，包括與生產製造相關的歐盟三大環保指令，嚴格規定進出口的電子產品生產過程必須符合環保規範。為了讓台灣產品打入國際市場，科技大廠將環保標準納入產品製程，促進環保製程產業鏈的形成。

台灣半導體、面板、太陽能、LED和MEMS產業大廠近日加入由SEMI(國際半導體設備材料產業協會)所籌組的「高科技綠色製程委員會」，以SEMI環境衛生安全(EHS)產業標準為基礎，具有Reduce(減量)、Recycle(循環)、Reuse(再利用)的3R作業模式，以確保各類產品符合國際環保規範。參與廠商包括台積電、聯電、旺宏、友達、晶元與相關設備材料商Air Liquide、Applied Materials、ATMI、Brooks Automation、DAS、Praxair、ULVAC等，以及SAHTECH財團法人安全衛生技術中心。

廠商對SEMI整合產業供應鏈以幫助業者落實綠色採購抱持支持的態度。台積電風管工安環保處副處長許芳銘指出，綠色製造是台灣科技製造業對抗中國低價製造威脅的競爭優勢，而綠色生產包括排碳減量和節能多寡，這些都要回歸製程備設計，從頭改良。SAHTECH安衛中心董事長于樹偉則表示，SEMI的S23是生產製造相關的國際產業技術標準，業者和設備材料商可從中找可共同發揮的機會，發展跨產業技術標準。晶元目前就是以SEMI的S23產業技術標準為基準，要求相關設備必須符合節能標準，晶元光電處長林木榮表示，碳盤查(Carbon Inventory)將是晶元光電供應鏈管理的重點項目。

製造商與設備材料商藉由這次的結盟，彼此分享各自的需求。友達光電經理林立偉表示，希望SEMI提供的平台上可以制定環保製作的相關標準與藍圖，業者也可共同提出需求給設備材料商參考。面對製造商的需求，設備與材料供應商表示會納入考量，並希望透過SEMI平台明確瞭解客戶的需求與標準，提供相關產品。