家登精密工業(LTD),日前榮獲2007年第十六屆臺灣國家磐石獎以及青年創業楷模獎兩項殊榮的肯定。家登精密成立於1998年,設立初期主要專注在射出模具與高精度零件的製造與設計。自2000年開始,家登精密進入黃光製程領域,致力於半導體前段製程設備與高階光罩儲存、傳輸以及清洗設備的研發,目前已成為此領域的世界第一大製造廠商之一。
總部設於臺北縣的家登精密,由董事長兼總經理邱銘乾先生以及副總經理林添瑞先生在1998年3月時成立,取名意喻『家』喻戶曉─成為世界級的企業;『登』峰造極─擁有世界級的技術。而家登精密過去十年來的發展也的確不負眾望,自行研發出優良的技術與產品,在國際半導體業界與多家大廠合作,品質服務均獲得一致好評,成為出色的半導體前段製程高階設備供應商,目前員工人數達125人。公司成立初期專司模具加工製造,但在第二年時切入半導體前段黃光製程,開始長達一年半黃光微影零組件研究,並於隔年研發成功,讓家登精密有機會與台積電展開維持至今的合作關係。
一路走來,家登精密在研發上的成果豐碩,為公司的發展史寫下許多優異的里程碑。2004年8月,與台積電合作研發90奈米製程良率改善之儲存運送製品Reticle SMIF Pod(光罩傳送盒),奠定了家登精密研發團隊在半導體黃光區領域解決方案能力的實績。2006年更開發出光罩清洗機,進而成功切入12吋晶圓廠內為其清洗高階90奈米製程用之光罩,再次成功轉型跨入設備製造。
在半導體製程中,『黃光微影製程技術』的突破往往決定半導體工業的發展速度,因為空氣中化學污染和微粒問題,會直接影響到晶圓和光罩傳送盒的淨化程度,是各大半導體廠極需解決的問題。家登精密的微污染與靜電防治團隊陣容實力堅強,推出以英國威格斯公司的VICTREX ESD PEEK聚合物為基材的8”晶舟(wafer cassette)。晶舟是放置於晶圓盒內用於承載、傳送和保護晶圓的容器。採用VICTREX ESD PEEK所製造的晶舟,可避免晶圓與晶舟溝槽因摩擦產生靜電放電(Electrostatic Discharge;ESD)而導致電路燒壞或因靜電吸附而導致晶圓遭到污染,以達到降低靜電累積與防護的目的。而其擁有的低發塵量/低析出物,能夠減少晶圓與晶舟溝槽之間的接觸點形成發塵或微粒產生,避免造成晶圓瑕疵。
而在其他半導體相關零件方面,家登精密使用VICTREX PEEK聚合物製造8”與12”化學機械研磨環(Chemical Mechanical Planarization Ring;CMP)。VICTREX PEEK擁有耐磨耗特性、低微粒產生、高純度與耐化學性,不但符合化學機械研磨製程中的嚴刻要求,並可延長CMP環在化學機械研磨(或稱晶圓研磨)過程中的使用壽命。因此,採用VICTREX PEEK所製造的CMP環可減少因更換已磨損的CMP環而產生的停工時間,進而降低每個晶圓的生產成本。
家登精密董事長邱銘乾表示:『家登精密自成立以來便以「價格合理」、「產品精良」以及「配合度高」為宗旨,致力於技術與產品的開發,並不斷超越自我,在半導體工業邁向更大晶圓尺寸、更高密度、更嚴苛生產環境的今天,為客戶提供解決方案。此次榮獲國家磐石獎以及青年創業楷模獎,代表家登精密多年來的努力再次受到肯定。放眼未來,我們將持續引進先進的材料和技術,提供具競爭優勢的產品,並不斷開發新型半導體製程設備產品,提高終端用戶的製程良率與協助其降低系統總成本。』