台積電為趕年底上海松江八吋晶圓廠量產時程,在取得政府許可後,近日已開始西移八吋晶圓設備。而由於半導體設備大小機台總數在百台以上,故以分批方式運送,估計全數運送完畢須花費一個月左右的時間。
工商時報報導,台積電七廠近期就已陸續打包設備待命,並於26日凌晨正式上路,將重要機台運往中正機場,由港龍航空搭載運往上海浦東機場。由於大型機台需由氣墊式拖板車運送,利用凌晨時刻高速公路車輛較少的時間運送,不易塞車也不至影響交通,也可避開外界過多的關注動作。
負責此次台積電機台運送、報關的是驊洲運通,搭配港龍航空一起承接此案,也因港龍航空可直接轉往大陸,不需再轉機,故獲選台積電選為運送八吋設備的航空公司。半導體製程機台設備包括蝕刻、顯影、離子植入、研磨及清洗等,其中較大型及較重的機台以顯影及蝕刻為主,價值也都在億元計,搬運行動必須非常謹慎小心。
台積電七廠現仍有八吋設備月產能在一萬多片,但並不代表移出八吋設備後七廠就停滯,而是將過去閒置在七廠的八吋設備運出,並不會影響現有的產能,員工也不會受影響。