台积电为赶年底上海松江八吋晶圆厂量产时程,在取得政府许可后,近日已开始西移八吋晶圆设备。而由于半导体设备大小机台总数在百台以上,故以分批方式运送,估计全数运送完毕须花费一个月左右的时间。
工商时报报导,台积电七厂近期就已陆续打包设备待命,并于26日凌晨正式上路,将重要机台运往中正机场,由港龙航空搭载运往上海浦东机场。由于大型机台需由气垫式拖板车运送,利用凌晨时刻高速公路车辆较少的时间运送,不易塞车也不至影响交通,也可避开外界过多的关注动作。
负责此次台积电机台运送、报关的是骅洲运通,搭配港龙航空一起承接此案,也因港龙航空可直接转往大陆,不需再转机,故获选台积电选为运送八吋设备的航空公司。半导体制程机台设备包括蚀刻、显影、离子植入、研磨及清洗等,其中较大型及较重的机台以显影及蚀刻为主,价值也都在亿元计,搬运行动必须非常谨慎小心。
台积电七厂现仍有八吋设备月产能在一万多片,但并不代表移出八吋设备后七厂就停滞,而是将过去闲置在七厂的八吋设备运出,并不会影响现有的产能,员工也不会受影响。