聯電近日對外宣布,該公司90奈米銅製程已正式進入量產,聯電成為國內第一家跨入90奈米銅製程量產的晶圓代工廠。另外,台積電去年下半年即對90奈米Low k及銅製程技術進行小量試產,與飛利浦、意法半導體、摩托羅拉、巨積及NEC聯合開發,預計今年第三季導入12吋晶圓廠,明年將首季量產。
聯電宣布90奈米技術量產成功,其90奈米製程採用9層銅導金屬層、三閘氧化層(triple gateoxide)及其它先進技術,均符合高密度及低耗電的新世代晶片需求。台積電技術主管表示,台積的90奈米製程已陸續試產,商品化則需視客戶需求而定。