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联电90奈米铜制程正式量产
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2003年04月01日 星期二

浏览人次:【2377】

联电近日对外宣布,该公司90奈米铜制程已正式进入量产,联电成为国内第一家跨入90奈米铜制程量产的晶圆代工厂。另外,台积电去年下半年即对90奈米Low k及铜制程技术进行小量试产,与飞利浦、意法半导体、摩托罗拉、巨积及NEC联合开发,预计今年第三季导入12吋晶圆厂,明年将首季量产。

联电宣布90奈米技术量产成功,其90奈米制程采用9层铜导金属层、三闸氧化层(triple gateoxide)及其它先进技术,均符合高密度及低耗电的新世代晶片需求。台积电技术主管表示,台积的90奈米制程已陆续试产,商品化则需视客户需求而定。

關鍵字: 90奈米铜制程  联电  台積電  飞利浦  意法半导体  摩托羅拉  巨积  NEC 
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