联电近日对外宣布,该公司90奈米铜制程已正式进入量产,联电成为国内第一家跨入90奈米铜制程量产的晶圆代工厂。另外,台积电去年下半年即对90奈米Low k及铜制程技术进行小量试产,与飞利浦、意法半导体、摩托罗拉、巨积及NEC联合开发,预计今年第三季导入12吋晶圆厂,明年将首季量产。
联电宣布90奈米技术量产成功,其90奈米制程采用9层铜导金属层、三闸氧化层(triple gateoxide)及其它先进技术,均符合高密度及低耗电的新世代晶片需求。台积电技术主管表示,台积的90奈米制程已陆续试产,商品化则需视客户需求而定。