根據外電消息,次波長蝕刻技術供應商Numerical,日前與三星電子(Samsung)簽署授權協議,三星將以Numerical的相移技術(phase-shifting)生產新一代的SRAM,預計明年初開始投產。Numerical表示,該公司之相移技術,透過現有的光學顯影設備,供半導體廠生產各種次波長IC。
Numerical表示,Numerical相移技術是可實際銷售的相移技術,此技術曾與248奈米蝕刻設備同被應用於實驗室,生產9奈米電晶體元件。
針對將次波長技術透明地嵌入設計至晶片製程中,Numerical主管Dr. Y. C. Pati於今年十月表示,Numerical開發相關技術方案和產品,藉由關鍵製程轉換,以較為經濟的成本擴展基礎設施。另外,Numerical還與主要夥伴合作擴展設計至晶片的領域。Numerical Technologies已經宣佈其第二季的收入較預期減少近20%。