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微電子研發成果發表會 奈米實驗室發表多項成果
 

【CTIMES/SmartAuto 謝馥芸 報導】   2002年12月11日 星期三

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昨日交通大學與國家奈米元件實驗室共同舉辦「微電子科技研發成果發表會」,希望藉此使研究成果經由適當的推廣,能促進產學業界共同創造未來互利互惠的契機。

奈米實驗室表示,舉辦該活動的主要目的,是希望透過對外公開發表研究結果,加強與業界的合作機會。發表的最新研究成果,包括:平面微波積體電路之H面轉換器、電漿處理之阻障層之製造方法、一種自我對準方式之複晶矽間隙壁閘極製造單電子電晶體的方法、銅化學機械研磨後清洗方法及先進光罩抗反射結構等。

奈米實驗室是行政院國科會所屬六大國家實驗室之一,成立的宗旨包括:(一)培訓國內半導體專業人才;(二)協助國內學術界進行半導體材料、製程、與元件之研究;(三)研發前瞻奈米元件技術。該實驗室的成立,是為了提供國內學術界適當的研究環境,期能結合全國微電子領域的學者專家,一起研發先進的半導體製程技術。

關鍵字: 微電子  電漿  微波  銅化學機械研磨  光罩  交通大學  國家奈米元件實驗室 
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