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QMEMS打造高性能Photo AT元件
 

【作者: 林志遠】   2011年10月13日 星期四

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傳統製程面臨加工瓶頸

石英晶體所具備的壓電效應,讓它可以透過晶體變形和振動來控制發生頻率的快慢,並可產生循環的晶體振盪,對外提供電子系統所需的參考頻率。做為頻率參考的基準,石英晶體被要求提供高度的穩定性,而這個穩定性主要由切割角度、厚度及晶體Q值等參數決定。


在傳統製程上是靠切割、研磨等方式的來製作石英晶體,這種機械加工的方式,即使再精密也有其限制,因此出廠前的石英晶片往往還得運用雷射來切削最關鍵的電極形狀,透過精微調校來控制控制品質。除了一致性不易達到外,面對薄型化和小型化的需求,機械加工製程也顯得力有未逮。
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