自今年3月裝機、6月試產後,DRAM廠力晶半導體昨日對外宣布,第一批試產0.13微米12吋晶圓良率高達80%,整體良率達50%。力晶半導體董事長黃崇仁指出,第一批試產晶圓成功,證明該公司已掌握12吋晶圓的製程設備,以及0.13微米DRAM產品的設計等,與全球DRAM同業相較,力晶創下全世界最快試產成功的紀錄。
力晶表示,力晶已將首批12吋晶圓交付下游廠商封裝測試,並送交客戶驗證的準備作業;力晶12吋廠以256Mb DRAM量產,採用更換金屬線光罩(Metal Option)選擇DDR、SDRAM版本的彈性設計,試產成功後將加速第四季量產投片進度,預計每月可達1萬5000片產能。
力晶副總經理陳正坤指出,由於全球DRAM廠12吋晶圓製造經驗有限,力晶試產也曾面臨新設備成熟度不足,以及0.13微米光罩適用性等技術挑戰,目前該公司逐步拉升整體良率,相信力晶將可快速完成前期試產程序。